Informace o projektu
Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
- Kód projektu
- GAP205/12/0407
- Období řešení
- 1/2012 - 12/2016
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanostrukturovaných kompozitních materiálů typu n-MC/a-C(:H). Hlavním cílem tohoto projektu je provést rozsáhlou diagnostiku depozičního plazmatu a porozumět souvislostem mezi parametry depozičního procesu, vlastnostmi depozičního plazmatu a vlastnostmi deponovaných vrstev.
Publikace
Počet publikací: 60
2013
-
On sputtered particle distribution towards substrate during target erosion - simulation and experiment
PAPN 2013: Book of extended abstracts, rok: 2013
-
ON SPUTTERED PARTICLE DISTRIBUTION TOWARDS SUBSTRATE DURING TARGET EROSION - SIMULATION AND EXPERIMENT
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
-
Preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
-
Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of the thermal dependence of mechanical properties, chemical composition and structure of the nanocomposite TiC/a-C:H coatings
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
-
TF-P2-17 Preparation of Hard nc-TiC/a-C:H Coatings Using Hybrid PVD-PECVD Process with Rotating Cylindrical Magnetron
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
2012
-
Comparison of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by magnetron sputtering in well balanced and highly unbalanced magnetic field
Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts, rok: 2012
-
Comparison of nc-TiC/a-C:H Films Prepared by PVD-PECVD Process at Low and High Ion Bombardment
Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
-
Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process
Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty
-
Feedback system to control reactive magnetron sputtering
Potential and Applications of Surface Nanothreatment of Polymers and Glass, rok: 2012