Mgr. Peter Klein, Ph.D.
výzkumný pracovník II – Depozice tenkých vrstev a nanostruktur
Publikace
Počet publikací: 93
2013
-
ON SPUTTERED PARTICLE DISTRIBUTION TOWARDS SUBSTRATE DURING TARGET EROSION - SIMULATION AND EXPERIMENT
Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty
2012
-
Feedback system to control reactive magnetron sputtering
Potential and Applications of Surface Nanothreatment of Polymers and Glass, rok: 2012
-
Monitoring and control of RF driven PVD, PECVD and etching plasmas using Fourier components of discharge voltages
Rok: 2012, druh: Konferenční abstrakty