Informace o projektu
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
- Kód projektu
- GA15-00863S
- Období řešení
- 1/2015 - 12/2017
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Univerzita Karlova
Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně.
Publikace
Počet publikací: 32
2020
-
Optical spectroscopy for sputtering process characterization
Journal of Applied Physics, rok: 2020, ročník: 127, vydání: 21, DOI
-
Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. I. General effects
Journal of applied physics, rok: 2020, ročník: 128, vydání: 4, DOI
-
Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. II. Plasma pulse effects
Journal of Applied Physics, rok: 2020, ročník: 128, vydání: 4, DOI
2018
-
Effect of magnetic field on spoke behaviour in HiPIMS plasma
Journal of physics D: Applied physics, rok: 2018, ročník: 51, vydání: 9, DOI
-
Optimization and influence of pillar shape on micro-compression tests results
Rok: 2018, druh: Konferenční abstrakty
2017
-
Cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS
Plasma Sources Science and Technology, rok: 2017, ročník: 26, vydání: 5, DOI
-
Evolution of sputtered species densities in HiPIMS process with acetylene gas
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
Evolution of Titanium Atom and Ion Density in Reactive HiPIMS - Impact on Hysteresis Curve Shape
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
Impact of Sputtered Species Ionization on Hysteresis Curve Shape – Model and Experiment
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
Report on spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty