Informace o projektu
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
- Kód projektu
- GA15-00863S
- Období řešení
- 1/2015 - 12/2017
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Univerzita Karlova
Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně.
Publikace
Počet publikací: 32
2017
-
Simultaneous electrical and optical study of spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2017, ročník: 50, vydání: 1, DOI
-
Spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Rok: 2017, druh: Vyžádané přednášky
-
Spokes occurrence in HiPIMS discharge at different magnetic field strengths
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
Temporal evolution of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS process
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
The Study of Spoke Merging and Splitting in HiPIMS Plasma
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
Ti atom and Ti ion number density evolution in standard and multi-pulse HiPIMS
Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2017, ročník: 50, vydání: 36, DOI
-
Titanium Atom and Ion Number Density Evolution in Reactive HiPIMS
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
-
Transition from spokes into a homogeneous plasma in HiPIMS discharge
Rok: 2017, druh: Konferenční abstrakty
2016
-
Behavior of spokes at different magnetic fields
Rok: 2016, druh: Konferenční abstrakty